Seto 1.60 fotokromni objektiv SHMC

1) Kaj je vrtelna prevleka?

Spin premaz je postopek, ki se uporablja za odlaganje enotnih tankih filmov na ravne podlage. Običajno se na sredini substrata nanese majhna količina materiala za prevleko, ki se bodisi vrti z nizko hitrostjo ali se sploh ne vrti. Podlaga se nato zasuka s hitrostjo do 10.000 vrt./min., Da razširi material za prevleko s centrifugalno silo. Stroj, ki se uporablja za vrtoglavo prevleko, se imenuje spin Coater ali preprosto predilnica.
Vrtenje se nadaljuje, medtem ko se tekočina vrti z robov podlage, dokler ne dosežete želene debeline filma. Uporabljeno topilo je običajno nestanovitno in hkrati izhlapi. Višja kot je kotna hitrost vrtenja, tanjša film. Debelina filma je odvisna tudi od viskoznosti in koncentracije raztopine ter topila. [2] Pionirsko teoretično analizo spin prevleke so izvedli Emslie in sod., Razširili pa so ga številni nadaljnji avtorji (vključno z Wilson in sod., [4], ki so preučevali hitrost širjenja v spin prevleko; in Danglad-Flores et al., Danglad-Flores et al. [5] ki je našel univerzalni opis za napovedovanje deponirane debeline filma).
Spin prevleka se pogosto uporablja pri mikrofabrikaciji funkcionalnih oksidnih plasti na steklenih ali enojnih kristalnih substratih z uporabo sol-gel predhodnikov, kjer ga lahko uporabimo za ustvarjanje enotnih tankih filmov z debelini nanoskalnice. [6] Intenzivno se uporablja v fotolitografiji, da nanese plasti fotoresista približno 1 mikrometra debele. Fotoresist se običajno vrti pri 20 do 80 revolucijah na sekundo 30 do 60 sekund. Široko se uporablja tudi za izdelavo ravninskih fotonskih struktur iz polimerov.
Ena prednost za vrtenje tankih filmov je enotnost debeline filma. Zaradi samoraznožja se debeline ne spreminjajo več kot 1%. Vendar pa lahko debelejši filmi polimerov in fotoresistov povzročijo relativno velike robne kroglice, katerih planarizacija ima fizične meje.